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微小氣體流量控制器

簡要描述:微小氣體流量控制器(MFC)用于對氣體的質量流量進行精密地測量和控制,廣泛用于分析測量儀器。其性能指標的好壞直接影響到氣體流量控制精密度和準確度,進而影響整機分析結果的準確性和可靠性。

  • 產品型號:歐世盛
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2021-01-21
  • 訪  問  量:337

詳細介紹

50年代以前,差壓式流量計是應用廣泛的氣體流量計,在各類流量儀表中其使用量占居*。

其工作原理是:

充滿管道的流體,當它流經管道內的節流件時,流速將在節流件處形成局部收縮,因而流速增加,靜壓力降低,于是在節流件前后便產生了壓差。流體流量愈大,產生的壓差愈大,這樣可依據壓差來衡量流量的大小。這種測量方法是以流動連續性方程(質量守恒定律)和伯努利方程(能量守恒定律)為基礎的。壓差的大小不僅與流量還與其他許多因素有關,例如當節流裝置形式或管道內流體的物理性質(密度、粘度)不同時,在同樣大小的流量下產生的壓差也是不同的。

歐世盛生產的微小氣體流量控制器采用的就是差壓式原理。

與熱式氣體質量流量計相比較,我們的差壓式微小氣體流量控制器幾乎無零點和溫度漂移,反應速度快,無需預熱,上電即可操作,解決了長期困擾客戶的問題。

我們的的主要特點是:

耐腐蝕材料,避免腐蝕性氣體對流量計的侵蝕
超快速相應,相應速度小于100ms
內置溫度補償,流量控制更加精準
全密封氣路系統,避免危險氣體泄漏
多種電氣接口,滿足不同用戶需求

產品指標:

型號             

A600-1

A600-2

滿量程流量范圍

0-8SLPM(根據用戶需求定制)

準確度

±1%FS

±0.5%FS

重復性

±0.5%FS

±0.2%FS

響應時間

<100ms

工作壓力范圍

0.05Mpa~0.2Mpa

漏氣率

1×10-9 atm•cc/sec He

密封材料

氟橡膠、聚四氟乙烯

傳感器類型

差壓式 壓力傳感器

工作溫度

5 ~ 50℃

大氣壓力

86~106Kpa

相對濕度

5 ~ 95%

額定工作電壓/電流

15VDC/500mA

大功耗

 <5W

數字通信

RS232  DB9 pin (Male)

模擬輸出

0-5.00V DC

模擬輸入

0-5.00V DC

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